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가스 배관에 쌓여있는 침전물질 제거(도와주세요!) |
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작성일 : 2006-03-13
작성자 : 김영길
조회수 : 793
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저희 회사는 반도체 제조회사입니다. SiH2Cl2 + NH3 GAS가 화학 반응 후 GAS 배관을 지나가는데, 이 두 GAS의반응에 의하여 생기는 침점물질이 SUS 배관을 거의 차지하는 현상이 발생하여주기적으로 드릴 및 드라이버로 그 침전물을 깨서 작업을 하는데, 금번에 특수 공구가 있으면 구매해서 적용하려고 합니다.침전물 강도는 거의 단단한 돌 수준이며, SUS 배관 내경은 40mm,침전물 길이는 약 40CM 정도이며, 막힐경우 내경이 약10mm만 남겨 놓게 됩니다.본 사이트를 뒤져 본 결과 초경 로타리(SB-9)를 이용하여 1차 뚫고, SB-9를 이용 구멍을 확장 하려고 합니다. 초경 로타리는 길이가 짧기 때문에, SUS 막대를 용접하여, 배관 청소 작업을 하려고 합니다.특수 브러쉬가 있다고 하시던데, 자세한 그림과 규격이 있으시면 자료보내주시길 부탁드립니다.수고하세요!....
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